在超精密加工中，振動是一種非常有害的現(xiàn)象，會嚴(yán)重影響被加工零件的表面質(zhì)量和性能。超精密加工中的振動源是來自機床內(nèi)部的振動和來自機床外部的振動。目前，減少振動影響的方法主要有三種：提高機床的穩(wěn)定性；消除或減少機床中的振動；減少外部振動的影響。下面詳細說明防振隔振問題..

1，提高了機器的穩(wěn)定性

超精密機床對機床結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性要求很高，即各部件尺寸穩(wěn)定性好，剛性高，變形小，結(jié)構(gòu)的振動和阻尼性能好。

(1)各組分尺寸穩(wěn)定性良好

使用尺寸穩(wěn)定性好的材料制作機床零件，如陶瓷，花崗巖，尺寸穩(wěn)定性好的鋼材，合金鑄鐵等..不僅通過消除應(yīng)力，時效，冷處理，澆鑄慢冷等方法使構(gòu)件具有高度的尺寸穩(wěn)定性。

（2）高剛性的結(jié)構(gòu)，變形小

當(dāng)機床運動部件的位置發(fā)生變化時，工件的裝卸或載荷的變化、力的變化等，都會引起變形。要求結(jié)構(gòu)剛度高，變形小，不影響加工精度。接觸面接觸良好，接觸剛度高，變形小。

2. 消除或減少機床的振動

在超精密機床中使用金剛石工具進行超精密切削時，要求機床工作平穩(wěn)，不允許振動，因此必須提高機床結(jié)構(gòu)的抗振能力，以減少機床內(nèi)部的所有振動。

3，減少外部振動的影響

這也是超精密機床中一個非常重要的問題?，F(xiàn)在使用的方法是：

(1)超精密機床應(yīng)盡可能遠離振源: 機床附近的振源，如空氣壓縮機、泵等應(yīng)盡可能遠離振源。 當(dāng)無法移動時，應(yīng)采用單獨的基礎(chǔ)，添加避震等措施，以盡量減少振動對超精密加工的影響。

（2）超精密機床采用獨立基礎(chǔ)、隔斷溝、隔振墻等：為了減少外界振動的干擾，基礎(chǔ)應(yīng)有足夠的深度，基礎(chǔ)周圍應(yīng)有隔振溝，溝內(nèi)應(yīng)采用減振材料。

（3）利用空氣隔離墊（也稱為空氣彈簧）現(xiàn)在下的超精密機床和精密測量平臺用于自動發(fā)現(xiàn)振動的空氣的隔離墊的水平，它通?？梢詮耐獠康恼駝颖确蛛x2HZ。小型機床隔離由三個空，大型機器帶有四個空氣隔離墊支架支撐。用空氣隔離墊支撐機之后，現(xiàn)在已經(jīng)達到了以隔離輸入1.5-2HZ鋼的涂覆的振動頻率。

使用氣墊后，機床需要一個自動找平的控制系統(tǒng)。當(dāng)機床運動部件的運動中心發(fā)生變化時，仍能保持水平。方法是將兩臺相互垂直的電子水準(zhǔn)儀放置在機床上。當(dāng)機床上的運動部件由于中心的變化而不水平時，電子水準(zhǔn)儀會發(fā)出一個極限值。由于控制系統(tǒng)分為調(diào)節(jié)空氣隔離墊的氣壓，機床將回到水平位置。由于電子水準(zhǔn)儀的精度等級不同，可根據(jù)需要選擇，使機床的水平度達到要求。